集成电路工艺实验PDF电子书下载
- 电子书积分:7 积分如何计算积分?
- 作 者:谭永胜,方泽波主编
- 出 版 社:成都:电子科技大学出版社
- 出版年份:2015
- ISBN:9787564729066
- 页数:85 页
概述 1
硅集成电路工艺简介 1
一、清洗工艺 4
二、氧化工艺 4
三、扩散工艺 5
四、离子注入工艺 5
五、光刻工艺 6
六、蒸发工艺 7
七、溅射工艺 8
八、等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺 8
实验一 清洗工艺 9
一、引言 9
二、实验目的 9
三、实验原理 9
四、实验内容 15
五、实验步骤 15
六、思考题 16
实验二 硅的热氧化工艺 17
一、引言 17
二、实验目的 17
三、实验原理 17
四、实验内容 25
五、实验步骤 25
六、思考题 26
实验三 硼扩散工艺 27
一、引言 27
二、实验目的 27
三、实验原理 27
四、实验内容 32
五、实验步骤 33
实验四 离子注入工艺 34
一、引言 34
二、实验目的 34
三、实验原理 35
四、实验内容 37
五、实验步骤 37
六、思考题 41
实验五 真空蒸发工艺 42
一、引言 42
二、实验目的 42
三、实验原理 42
四、实验内容 49
五、实验步骤 50
六、思考题 51
实验六 溅射工艺 52
一、引言 52
二、实验目的 52
三、实验原理 52
四、实验内容 57
五、实验步骤 57
六、思考题 58
实验七 等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺 59
一、引言 59
二、实验目的 59
三、实验原理 59
四、实验内容 64
五、实验步骤 64
六、思考题 65
实验八 光刻工艺 66
一、引言 66
二、实验目的 66
三、实验原理 66
四、实验内容 74
五、实验步骤 74
六、思考题 74
实验九 湿法腐蚀工艺 75
一、引言 75
二、实验原理 75
三、实验内容 80
四、实验步骤 80
五、思考题 80
实验十 化学机械抛光(CMP)工艺 81
一、引言 81
二、实验目的 81
三、实验原理 81
四、实验内容 84
五、实验步骤 84
六、思考题 84
参考文献 85
- 《女丹仙道:道教女子内丹养生修炼秘籍 下》董沛文著 2012
- 《激光加工实训技能指导理实一体化教程 下》王秀军,徐永红主编;刘波,刘克生副主编 2017
- 《先进激光加工技能实训》肖海兵主编 2019
- 《民国时期医药卫生文献集成 37》路丽明编 2019
- 《民国时期医药卫生文献集成 19》路丽明编 2019
- 《民国时期医药卫生文献集成 24》路丽明编 2019
- 《英语实训教程 第2册 商务英语听说》盛湘君总主编 2019
- 《集成曲谱金集 卷7 卷8》黄天骥总主编;王季烈,刘富梁辑 2018
- 《通信电子电路原理及仿真设计》叶建芳 2019
- 《高职旅游专业实训系列教材 实用旅游英语》(中国)曲琳娜 2019
- 《断陷湖盆比较沉积学与油气储层》赵永胜等著 1996
- 《水面舰艇编队作战运筹分析》谭安胜著 2009
- 《高考快速作文指导》张吉武,鲍志伸主编 2002
- 《建筑施工企业统计》杨淑芝主编 2008
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《近代旅游指南汇刊二编 16》王强主编 2017
- 《汉语词汇知识与习得研究》邢红兵主编 2019
- 《黄遵宪集 4》陈铮主编 2019
- 《孙诒让集 1》丁进主编 2016
- 《近代世界史文献丛编 19》王强主编 2017