《硅材料物理测试》目录
硅材料物理测试 天津半导体材料厂 1
一、测试前硅单晶的预处理 1
二、切割与粗磨 1
三、导电类型的测定 2
四、电阻率的测量 3
五、双脉冲法测硅单晶寿命 8
六、抛光与腐蚀 11
七、位错密度的测量 12
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