半导体器件的可靠性 第4集PDF电子书下载

目 录 1

电子学中的电迁移和失效：引言 1

失效分析（综述） 9

SiO2膜中的电击穿机理 11

使用俄歇能谱学和其它先进分析技术来分析微电子材料 20

采用质子束对表面的分析 23

用电子探针微分析器对半导体的观察 29

互连和微型接头的无损测试（总结报告） 37

利用扫描电子显微镜测量p-n结深度 51

扫描电子显微镜在半导体器件中的应用 53

扫描电子显微镜在半导体器件的薄膜研究中的应用 68

离子微探针在半导体失效分析中的应用 73

硅中电活性杂质沉积缺陷的电子显微镜研究 75

中规模集成数字逻辑阵列 87

限制大规模集成电路性能和可靠性的材料和界面因素 89