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半导体光刻设备及材料展望
半导体光刻设备及材料展望

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工业技术

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  • 作 者:上海市仪表电讯工业局科技情报研究所
  • 出 版 社:
  • 出版年份:1984
  • ISBN:
  • 页数:113 页
图书介绍:
《半导体光刻设备及材料展望》目录

目录 1

第一章 概观 1

第二章 半导体器件工业展望 3

电子设备展望 3

美国 4

欧洲 5

日本 5

世界其他国家 6

半导体器件生产展望 6

半导体器件的消耗量 6

消耗量与产量之比较 11

半导体器件的生产 12

第三章 硅片消耗 30

序言 30

硅片的消耗量 30

砷化镓片子的消耗量 33

硅片的消耗因素 33

硅片面积的消耗量 38

硅片的消耗片数 38

第四章 光刻技术的发展趋势 46

集成度—动力 46

最小线宽的缩小 49

光刻技术 51

中间掩模版/掩模版制版技术的发展趋势 51

硅片光刻技术的发展趋势 53

第五章 硅片曝光设备市场 56

光学式曝光设备 56

硅片的通过量 56

光刻机的生产率 60

光刻设备市场 61

主要的设备供应厂商 66

先进的硅片曝光设备 67

电子束直刻式光刻机市场 67

X射线光刻机的前景 67

其他光刻技术 67

第六章 中间掩模版/掩模版制版设备市场 68

市场综述 68

中间掩模版/掩模版制版设备 69

中间掩模版/掩模母版的需求量 70

检版设备市场 71

中间掩模版的自动检版 72

第七章 光刻材料市场 73

光刻胶及其有关的化学剂 73

概述 73

半导体器件生产用的光刻胶 73

光刻胶市场 78

掩模版和中间掩模版用的感光版 80

感光版市场 80

供应厂商 82

第八章 中间掩模版/掩模版制版销售服务 83

附录 84

美国电子产品生产的统计信息源介绍 85

按生产公司的地理位置和产品种类划分 87

世界半导体器件的销售额 87

世界半导体器件的销售情况——世界总计 94

世界半导体器件的销售情况——美国公司 97

世界半导体器件的销售情况——欧洲公司 100

世界半导体器件的销售情况——日本公司 103

世界半导体器件的销售情况——世界其他国家公司 106

按公司总部所在地区划分世界硅片消耗量 109

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