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第1章 真空知识概论 1

1.1什么是真空 1

1.2真空的发现和理论基础 4

1.3几个重要的概念 8

1.4真空技术的应用 13

第2章 真空密封 15

2.1永久密封 15

2.2非永久密封 18

2.3真空法兰 23

2.4真空导入要素 30

2.5波纹管 34

第3章 影响真空度的要素 36

3.1真空检漏 36

3.2真空中的材料气体放出 44

3.3真空材料的表面净化和抛光 47

3.4真空系统的排气计算 50

第4章 真空系统 57

4.1真空系统的构成 57

4.2真空腔体 65

4.3真空泵 70

4.4真空计 84

4.5真空阀门 94

4.6各种运动导入器 101

4.7配管连接元件 115

第5章 典型的薄膜生长方式 118

5.1物理方式成膜（Physical Vapor Deposition：PVD） 118

5.2化学方式成膜（Chemical Vapor Deposition： CVD） 125

附录 129

参考文献 142