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目录 1

第一章 微细加工技术及其在生产加工中的作用 1

1.1 微细加工的范围及其特点 1

1.2 加工单位与加工能量 5

1.3 原子、分子加工单位与毫微米加工技术 13

参考文献 19

第二章 各种微细加工的原理与特征 20

2.1 电火花加工 20

2.1.1 原理 20

2.1.2 特征 27

2.2 电子束加工 32

2.2.1 电子束加工概况 32

2.2.2 原理 33

2.2.3 特征 37

2.2.4 电子束加工装置 38

2.2.5 加工实例 42

2.3 离子束加工和分子束、原子束加工 42

2.3.1 去除加工 45

2.3.2 镀膜加工 55

2.3.3 注入加工 57

2.4 激光加工 58

2.4.1 激光的发光机理 59

2.4 2激光微细加工 60

2.4.3 激光加工机 62

2.4.4 激光加工的特征与适用范围 63

2.5 微波加工 66

2.5.1 概要 66

2.5.2 氧化铝陶瓷片打孔 67

2.5.3 金刚石打孔 69

2.6 等离子体加工 73

2.6.1 等离子体射流与等离子体电弧 73

2.6.2 等离子体电弧切断 74

2.6.3 等离子体电弧焊接 74

2.6.4 等离子体电弧焊接的特点 77

2.6.5 等离子体电弧焊接的应用 78

2.7 切削加工 80

2.7.1 微细切削加工 81

2.7.2 微孔加工 86

2.8 变形加工 96

2.8.1 影响变形加工的因素及变形加工的研究方法… 99

2.8.2 微细加工的特征与应注意的问题 100

2.8.3 微细变形加工的展望 103

2.9 磨料加工 104

2.9.1 研磨 104

2.9.2 抛光 117

2.9.3 磨削加工 126

2.10 喷射加工 126

2.10.1 磨料喷射加工 127

2.10.2 液体喷射加工 129

2.11 超声波加工 134

2.11.1 超声波加工的原理与特征 134

2.11.2 超声波加工机 138

2.11.3 加工条件对加工速度的影响 139

2.11.4 影响加工精度的各种因素 140

2.11.5 在微细加工中的应用 141

2.11.6 超声波焊接 144

2.12 光刻加工 146

2.12.1 前言 146

2.11.7 超声波在其它方面的应用 146

2.12.2 原版（光掩模）的制作 148

2.12.3 刻蚀加工工序 150

2.12.4 光电成型工序 159

2.12.5 小结 163

2.13 化学抛光 164

2.13.1 化学抛光的机理 165

2.13.2 化学抛光的条件 167

2.13.3 金属的化学抛光 168

2.13.4 半导体的化学抛光 171

2.14 精密电铸 172

2.15.1 前言 178

2.15 电解加工 178

2.15.2 加工原理 179

2.15.3 特点 180

2.15.4 加工特性 181

2.15.5 平衡间隙和正常加工形状 185

2.15.6 用线性电解液（NaCl）时的电极形状 189

2.15.7 用非线性电解液（NaNO3）时的电极形状 190

2.15.8 反拷贝电极法 190

2.15.9 重复精度和加工精度 192

2.15.10 电解加工的应用 192

2.16 电解磨削 194

2.16.1 前言 194

2.16.2 加工方式及加工原理 194

2.16.3 加工特性 196

2.16.4 电解磨削的应用 199

2.17 电解抛光 202

2.17.1 电解抛光的机理 203

2.17.2 电解抛光的条件 205

2.17.3 金属的电解抛光 207

2.17.4 半导体的电解抛光 210

参考文献 212

第三章 各种零件的微细加工 221

3.1 电子零件的微细加工 221

3.1.1 半导体器件 221

3.1.2 磁头、磁线存储器 263

3.1.3 磁鼓和磁盘 269

3.1.4 影孔板（荫罩） 274

3.1.5 电子枪 279

3.1.6 电子管 284

3.1.7 石英振子 297

3.2 精密机械仪器零件的微细加工 303

3.2.1 钟表零件 303

3.2.2 蓝宝石零件 316

3.2.3 光学仪器零件 322

3.2.4 金刚石模具 334

3.2.5 金刚石压头、金刚石针 338

3.2.6 液压、气压机器零件 348

3.2.7 计量仪器类 354

3.2.8 医疗器械 362

参考文献 372

索引 377