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绪论 1

一、机械制造技术的发展 1

目 录 1

二、精密加工技术的现状 2

三、精密加工技术的研究内容 4

第一章精密加工的理论基础 7

§1-1材料的微观特性 7

一、晶体结构 7

二、材料的强度 8

三、材料的缺陷 12

四、加工单位与切削阻力 13

五、位错的测量 15

六、加工极限 15

一、概述 16

§1-2过渡切削过程 16

二、过渡切削过程 17

三、最小切入深度 19

四、堆积现象 21

五、微量切削的碾压过程 22

§1-3微量切削的表面质量 24

一、刀具切削性能对加工精度的影响 24

二、切削过程的分析 25

三、工件材料的影响 27

四、加工变质层 29

第二章精密加工的环境条件 35

§2-1隔振 35

§2-2热稳定性 36

§2-3 防尘与净化 38

第三章金刚石刀具切削加工 40

§3-1概述 40

§3-2金刚石刀具的特点 42

一、金刚石刀具的特点 42

二、金刚石的结构 43

§3-3金刚石刀具切削加工 48

一、金刚石刀具的几何形状和结构 48

二、金刚石刀具的安装角 51

三、切削用量的选择 53

四、冷却润滑液的选择 55

五、金刚石刀具的磨损 56

§3-4金刚石刀具的制造 58

一、金刚石的挑选和定向 58

二、金刚石的劈开方法 60

三、金刚石刀具的刃磨 61

四、金刚石刀具的设计 65

§3-5金刚石刀具的代用材料 66

第四章磨料加工 70

§4-1超精密磨削和镜面磨削 70

4.1-1超精密磨削 70

一、概述 70

二、超精密磨削表面形成机理 70

4.1-2镜面磨削 73

一、概述 73

二、镜面磨削表面形成机理 73

4.1-3超精密磨削和镜面磨削的表面质量 74

一、砂轮特性及其修整对磨削表面粗糙度的影响 75

二、磨削用量对磨削表面粗糙度的影响 82

§4-2研磨和超精密研磨 86

一、研磨 86

二、超精密研磨 94

三、研磨和超精密研磨实例 95

§4-3软粒子研磨和抛光 104

一、弹性发射加工（EEM） 104

二、机械化学研磨（MCL）和抛光（MCP） 106

三、液体动力研磨抛光 106

四、磁流体精研 109

五、磁力研磨 111

§4-4砂带磨削 114

一、概述 114

三、砂带磨削装置（机床）及其基本结构 115

二、砂带及其磨削机理 115

四、砂带磨削工艺 118

五、砂带磨削工艺实例 119

第五章精密加工机床 120

§5-1机床的精度指标 120

§5-2超精加工机床的实例 122

§5-3主轴轴系 127

§5-4精密加工机床中的导轨 133

§5-5精密驱动系统 139

一、精密主轴的驱动 139

二、工作台的驱动 140

§5-6精密定位、对准及微位移技术 142

一、精密定位 142

二、对准技术 144

三、微位移机构 148

第六章微细加工技术 152

§6-1概述 152

§6-2光刻蚀技术和光电成型加工 153

一、光刻蚀技术 153

（一）光刻原理 153

（二）光刻工艺的一般过程 153

（三）光刻工艺特点及发展状况 156

二、光电成型加工 157

§6-3 电子束加工与光刻技术 159

一、电子束加工与光刻的原理 159

二、电子束的热效应与电子束加工 160

三、电子束的化学效应与电子束光刻 161

§6-4离子束加工 162

四、电子束加工和光刻的工艺特点 162

一、离子束产生的基本原理 163

二、离子束加工 163

三、离子束加工的特点 165

§6-5 X射线复印 165

一、X射线的产生原理 165

二、X射线曝光装置 166

三、X射线复印的几何误差 166

§6-6激光加工 168

一、概述 168

二、激光的产生机理及其特性 169

三、激光加工原理及特点 171

四、激光加工的应用 172

五、影响激光加工精度的主要因素 173

参考文献 175