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第1章 检测的一半概念 1

1.1检漏技术的地位和应用 1

1.2检漏技术的主要术语 1

1.3压力与漏率关系 3

1.3.1动态真空 3

1.3.2静态真空 3

1.4检漏的任务 3

1.4.1真空抽不好的原因 3

1.4.2不能保持压力的原因 4

1.4.3检漏的任务 4

1.5漏孔及其表示 4

1.5.1焊缝及原材料的缺欠 4

1.5.2常见漏孔的形式 5

1.5.3漏孔出现位置及产生原因 5

1.5.4漏孔大小的表示方法 6

1.5.5影响漏孔漏率的因素 7

1.5.6漏率的单位 7

1.5.7漏孔对真空的影响 10

1.6装置漏气的判定 10

1.6.1真空装置漏气的判定 10

1.6.2加压装置漏气的判定 12

1.6.3检漏仪及其他方法 13

1.7装置容许最大漏率估算 13

1.7.1动态真空装置容许最大漏率 14

1.7.2静态真空装置容许最大漏率 15

1.7.3加压装置容许最大漏率 16

1.7.4实际存在漏孔漏率分布 16

1.8灵敏度与最小可检漏率 17

1.8.1灵敏度 17

1.8.2最小可检漏率 17

1.8.3有效最小可检漏率 17

1.9对检漏的一般要求 18

1.10检漏方法的分类 19

1.10.1加压检漏法 19

1.10.2抽真空检漏法 20

1.10.3其他方法 20

1.11检漏方法、仪器和示漏物质选择原则 21

1.12国产氦质谱检漏仪现状 21

第2章 检测的真空基础 23

2.1真空概念和测量单位 23

2.1.1真空概念 23

2.1.2真空度 23

2.1.3真空区域划分 23

2.2理想气体基本定律及状态方程 25

2.2.1理想气体 25

2.2.2波义耳定律 25

2.2.3盖·吕萨克定律 25

2.2.4查理定律 26

2.2.5阿伏伽德罗定律 26

2.2.6理想气体状态方程 26

2.2.7道尔顿定律（分压力定律） 27

2.3气体分子的平均自由程 27

2.3.1平均自由程 27

2.3.2单一气体分子的平均自由程 27

2.4气体流量和管道流导 28

2.4.1气体量 28

2.4.2流量 28

2.4.3流导 29

2.4.4管道串联的流导 29

2.4.5管道并联的流导 29

2.5气体的流动状态 29

2.5.1真空管道中的气体流动 29

2.5.2漏孔中的气体流动 30

2.6真空泵 31

2.6.1油封式旋转机械真空泵 31

2.6.2油扩散泵 34

2.6.3涡轮分子泵 36

2.7真空计 38

2.7.1静态变形真空计 38

2.7.2电阻真空计 39

2.7.3热偶真空计 41

2.7.4热阴极电离真空计 43

2.7.5冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计） 45

2.7.6分压力真空计 47

第3章 常用的检测方法 49

3.1静态升压法 49

3.2静态降压法 51

3.3气泡检漏法 51

3.3.1气泡检漏法的原理 51

3.3.2产生气泡的条件 51

3.3.3产生压差的方法 52

3.3.4打气试漏法及注意事项 54

3.4高频火花检漏法 55

3.4.1火花法 56

3.4.2放电法 56

3.5卤素检漏法 57

3.5.1卤素检漏法原理及仪器结构 57

3.5.2卤素检漏法注意事项 59

3.6质谱仪检漏法 60

3.7其他检漏方法 60

3.7.1真空规法 60

3.7.2离子泵检漏法 69

3.7.3声波检漏法 70

3.7.4氨检漏法 70

3.7.5放射性同位素法 76

3.7.6着色渗透法 78

3.7.7荧光渗透法 79

3.7.8正压漏率计算法 79

第4章 标准漏孔及其他校准 83

4.1真空标准漏孔 83

4.1.1概述 83

4.1.2真空标准漏孔的种类 83

4.1.3真空标准漏孔的比较 88

4.2正压标准漏孔 89

4.3标准漏孔的校准及使用注意事项 89

第5章 氦质谱检漏仪法 93

5.1氦质谱检漏仪工作原理 93

5.2仪器结构 94

5.2.1质谱室 94

5.2.2真空系统 97

5.2.3电气部分 98

5.2.4普通型氦质谱检漏仪（ZJS-23B）与逆扩散型氦质谱检漏仪（ZQJ-230D）的比较 98

5.3示漏气体选择 99

5.4最小可检漏率与校准 100

5.4.1检漏仪的最小可检漏率 101

5.4.2有效最小可检漏率 101

5.4.3检漏仪的最小可检漏率校准方法 101

5.4.4有效最小可检漏率的校准方法 102

5.4.5注意事项 103

5.5反应时间与清除时间及其校准 104

5.6氦质谱检漏仪的选择 106

5.7氦质谱检漏技术 107

5.7.1氦质谱检漏方法 107

5.7.2实际漏孔漏率 123

5.7.3大容器检漏 124

第6章 四级质谱计检漏法 135

6.1四极质谱计的结构 135

6.2四极质谱计的工作原理 135

6.3四极质谱计的工作模式 136

6.3.1模拟峰质量扫描 136

6.3.2棒峰质量扫描 136

6.4四极质谱计的性能指标 137

6.4.1质量范围 137

6.4.2分辨本领R 137

6.4.3灵敏度S 138

6.4.4最小可检分压力pmin 139

6.4.5最高工作压力pmax 139

6.4.6最小可检浓度 140

6.5四极质谱计检漏方法 140

6.5.1残气分析法 140

6.5.2单一示漏气体检漏法 140

6.5.3多种示漏气体检漏法 140

6.6应用举例 142

6.7质谱图的识别 144

第7章 检漏实践和检漏安全 149

7.1检漏实践 149

7.1.1检漏实践的原则——在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作 149

7.1.2检漏工作人员与检漏试验室（车间） 151

7.1.3如何进行检漏 152

7.2检漏安全 153

7.2.1安全事项 153

7.2.2安全防护 154

7.2.3压力防护 155

7.2.4安全装置 156

7.2.5示漏气体的危害与安全性 157

7.2.6监测设备的类型 158

7.2.7安全规则 158