旋转载体用硅微机械振动陀螺PDF电子书下载
- 电子书积分:9 积分如何计算积分?
- 作 者:王宏伟著
- 出 版 社:长春:吉林大学出版社
- 出版年份:2015
- ISBN:9787567743458
- 页数:154 页
第一章 综述 1
1.1 MEMS概述 2
1.2 微机械陀螺概述 10
1.3 本书研究内容 20
第二章 旋转载体用硅微机械陀螺的数学模型 23
2.1 硅微机械陀螺工作原理 23
2.2 质量运动的数学模型 24
2.3 误差分析 33
第三章 陀螺力学参数计算 37
3.1 微机械陀螺硅振动元件结构 37
3.2 硅质量的转动惯量 39
3.3 硅振动元件弹性梁的力学分析与计算 41
3.4 硅振动元件的振动阻尼 48
第四章 电容敏感 59
4.1 电容敏感 59
4.2 静电吸合 66
第五章 陀螺力学性能分析 71
5.1 载体旋转角速率对输出信号的影响 71
5.2 固有频率、阻尼比和相位角 75
5.3 温度对阻尼系数的影响 77
5.4 有限元分析和仿真 80
第六章 信号检测电路 87
6.1 电路组成 87
6.2 电路分析 91
6.3 电路的温度误差 99
第七章 硅振动元件制作工艺 107
7.1 湿法腐蚀 107
7.2 硅振动元件加工工艺流程 109
7.3 工艺详细步骤 110
第八章 陀螺部件的制作及整体封装 121
8.1 陀螺结构组成 121
8.2 陶瓷极板的制作 124
8.3 “三明治”敏感元件的粘接 129
8.4 敏感元件与外壳底座的粘接及电极引线的焊接 131
8.5 外壳底座与外壳盖的粘接 132
8.6 外壳的封接 133
第九章 陀螺性能测试 137
9.1 陀螺常温性能的测试 137
9.2 理论计算与实验结果比较 141
9.3 理论计算与实验结果的误差分析 142
参考文献 147
- 《高等教育双机械基础课程系列教材 高等学校教材 机械设计课程设计手册 第5版》吴宗泽,罗圣国,高志,李威 2018
- 《AutoCAD机械设计实例精解 2019中文版》北京兆迪科技有限公司编著 2019
- 《食品工厂机械装备》方祖成,李冬生,汪超 2017
- 《陀螺》周作人译作 2019
- 《“十一五”国家级规划教材 工程材料与机械制造基础 下 第3版》(中国)李爱菊 2019
- 《高等机械系统动力学》李有堂著 2019
- 《机械设计基础 少学时》王哲,刘美华主编 2019
- 《机械制图》丁乔主编 2019
- 《现代机械设计手册 第2卷 第2版》秦大同,谢里阳主编 2019
- 《基于脂质的纳米载体在药物递送和诊断中的应用》(巴基斯坦)穆罕默德·拉扎·沙赫等著;刘颖主译 2019
- 《中风偏瘫 脑萎缩 痴呆 最新治疗原则与方法》孙作东著 2004
- 《水面舰艇编队作战运筹分析》谭安胜著 2009
- 《王蒙文集 新版 35 评点《红楼梦》 上》王蒙著 2020
- 《TED说话的力量 世界优秀演讲者的口才秘诀》(坦桑)阿卡什·P.卡里亚著 2019
- 《燕堂夜话》蒋忠和著 2019
- 《经久》静水边著 2019
- 《魔法销售台词》(美)埃尔默·惠勒著 2019
- 《微表情密码》(波)卡西亚·韦佐夫斯基,(波)帕特里克·韦佐夫斯基著 2019
- 《看书琐记与作文秘诀》鲁迅著 2019
- 《酒国》莫言著 2019