微机电系统和微结构及其在航天中的应用

本书是由十几位知名教授根据他们在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果总结共同完成的专著。其内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考...

微计算机控制机电设备集锦 原理与实例

本书通过对步进电机、洗衣机、电梯、车床、铣床等控制实例的分析

微机械的制造与应用

MEMS技术及其应用

国家自然科学基金资助课题哈尔滨工业大学研究成果专著出版基金资助出版:本书共有八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。...

微系统设计与制造

本书介绍微系统的基础理论，分析设计方法和制造技术。

MEMS/MOEMS封装技术

本书的主要内容为MEMS和MOEMS电子封装工程基础，MEMS和MOEMS器件的原理、材料与制造，MEMS/MOEMS封装面临的挑战和策略，MEMS/MOEMS封装材料和工艺，以及纳米技术。...

微机电耦合动力学

本书综合运用连续体动力学、静电学、流体动力学等理论，建立了单微梁、双微梁及微板的机电耦合动力学模型，考虑静电力的非线性以及机电耦合因素，对静电力作用下微构件的自由振动、在简谐激励作用下的受迫振动、...

泛结构化微机电系统集成设计方法

本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提...

微电子机械加工系统(MEMS)技术基础

本书介绍微电子机械加工（MEMS）技术基础，详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。

CMOS MEMS技术与应用

本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用，包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的集成化技术，CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器和RF器件及系统中的...