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半导体芯片制造系统建模与优化调度控制
江志斌著2011 年出版398 页ISBN：9787313063151基于仿真的调度方法通常需要进行的仿真或者采用好的规则以优化调度结果，本文建立了以减小平均在制品为优化目标的半导体制造系统的调度模型，对模型进行分解和简化。把结论作为一个调度规则直接应用于仿真调度...
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半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程
唐龙谷编著2014 年出版236 页ISBN：9787302354314本书详细讲解了TCAD仿真基础、Silvaco TCAD的二维工艺仿真、二维器件仿真、器件—电路混合仿真以及一些高级的仿真特性。书中详细的语法解释和丰富的例句可以使读者快速入门并深入理解TCAD。...
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金属-氧化物-半导体集成电路 金属-氧化物-半导体大规模集成电路的理论、设计、制造和在整体中的应用
（美）W.M.彭尼，L.劳编；清华大学电子工程系半导体车间译1977 年出版324 页ISBN： -
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产业专利分析报告 第50册 芯片先进制造工艺
张茂于主编2017 年出版250 页ISBN：9787513049535本书是芯片先进制造工艺的专利分析报告。报告从该行业的专利（国内、国外）申请、授权、申请人的已有专利状态、其他先进国家的专利状况、同领域领先企业的专利壁垒等方面入手，充分结合相关数据，展开分析，并得出分...
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