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化合物半导体加工中的表征 英文
（美）布伦德尔，（美）埃文斯，（美）麦克盖尔主编2014 年出版199 页ISBN：9787560342818化合物半导体加工中的表征一书是为使用化合物半导体材料与设备的科学家与工程师准备的，他们并不是表征专家。在研发与GaAs、GaA1As、LnP及HgCdTe基设备的制造中通常使用的材料与工艺提供常见的分析问题实例...
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