微机电系统设计与加工

本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...

微机电系统设计与制造

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...

普通高等教育电气类国家级特色专业系列规划教材 数字电子技术基础 第2版

微机电系统（MEMS）原理、设计和分析

本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。...

微机电系统与微细加工技术

本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍...

微机电系统动力学

本书是有关微机电系统（MEMS）动力学的专著，首次全面介绍MEMS动力学的理论基础与应用，展示当今MEMS动力学研究的最新研究进展，系统论述MEMS动力学相关理论和目前引起人们关注的科学问题，基本涵盖了MEMS及MEMS动力学...

微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南

在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...

微机电系统机械学

本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳...

微机电系统原理

本书通过统一的方法和闭合解析法解决微机电问题中的微机电系统原理。首先对宏观和微观世界的基础无量纲参数进行了量纲分析，同时还介绍了微机电系统相关的精密加工技术。此外本书还介绍了静力平衡状态下静力...

生物微机电系统

微系统技术领域的飞速发展为许多重点学科（从微电子到生命科学）引入了极具前景的产品，特别是生命科学和卫生保健业，一直是人们期望的微系统技术产品的主要市场。毫无疑问，生物学和微纳科学的结合将会制造一场新的...