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微机电系统设计与制造
刘晓明，朱钟淦编著2006 年出版371 页ISBN：7118041211本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...
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高速公路机电系统运行与维护手册
段国钦，孙穗，梁华编著2006 年出版470 页ISBN：7114058950本书内容包括：机电系统维护基本知识，收费系统、监护系统、通信系统、办公信息化系统、照明通风系统、供配电系统的运行与维护等。
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The MEMS Handbook Second Edition MEMS Design and Fabrication
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