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微机电系统（MEMS）制造技术
苑伟政，乔大勇著2014 年出版241 页ISBN：9787030399748微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...
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微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南
（美）库比著2014 年出版135 页ISBN：9787118096903在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...
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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
张海霞，缪雯，方东明著2014 年出版416 页ISBN：9787030389961本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...
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先进光学元件微纳制造与精密检测技术
郭隐彪，杨平，王振忠，杨炜编著2014 年出版320 页ISBN：9787118096132先进光学元件作为实现特殊光学功能的载体和工具，在光学技术领域中占据着举足轻重的地位。先进光学元件开发的核心，主要是实现高精度的制造和检测。本书以此为出发点，主要内容包括：先进光学元件的高精度制造与检...
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MEMS集成设计技术及应用
苑伟政，谢建兵，焦文龙著2014 年出版294 页ISBN：9787118095838全书共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍...
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现代职业教育机电类规划教材 机械制造基础与实践
宁传华主编2014 年出版116 页ISBN：9787549327560本书是按照项目化教学的格式编写，主要内容包括：项目1，金属切削机床与切削运动的认识；项目2，金属切削刀具的认知；项目3，车削加工；项目4，钻削加工；项目5，铣削加工。每一个项目中都包含若干个情境性教学和实践......
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现代职业教育机电类规划教材 机械制造工艺与夹具
宁传华，倪健主编2014 年出版218 页ISBN：9787549327577本书是按照项目化教学的方式编写，分为六个教学项目，共计三十个教学任务。包括：项目1，掌握制定机加工工艺方案基础知识；项目2，轴类零件机加工工艺编制与实施；项目3，套类零件机加工工艺编制与实施；项目4，叉架......