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实用BFS技术与无菌制造工艺
杨春文著2017 年出版206 页ISBN:9787504495815本书是介绍BFS(吹灌封)技术,该书将BFS技术与无菌制造工艺结合,客观、系统、全面地介绍BFS技术及其应用。该书将“技术、工艺、标准、法规、应用指南”集于一体,重在实用。本书分上下两部。上半部分,以BFS技术的概...
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刘斌主编2017 年出版224 页ISBN:9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势,主要介绍了常用的微系统制作工艺,并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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