微机电技术

微机电系统技术

微机电系统及其相关技术

微机电技术

本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用，RF MEMS及重构天线，MEME力学问题等。本书可供高年级本科生和研究生使用，也可作为相关工程技术人员...

微机电系统集成与封装技术基础

本书主要介绍了微机电系统与填封装技术，包括微机电系统集成技术基础。

微机电系统技术基础

本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术，微机电系统的组成、检测及应用技术。内容详实、图文并茂。...

微机电系统与微细加工技术

本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍...

现代机电一体化技术丛书 微机电系统及工程应用

本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系...

执行器技术：微机电方法 影印版

执行器是将电能转换成机械能的装置，通常用于电气、气动、液压系统。由于执行器技术在生物医学、人工器官修复、器械矫形中应用的需要，对高效且具有微纳米尺寸级别的复杂精密机械产品的需要不断增长。本书对执...

微机电系统（MEMS）制造技术

微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...