微电子测试结构PDF电子书下载
- 电子书积分:9 积分如何计算积分?
- 作 者:孙为编
- 出 版 社:上海:华东师范大学出版社
- 出版年份:1984
- ISBN:15135·003
- 页数:177 页
第一章 薄层电阻测试结构及其应用 1
§1.1薄层电阻测试结构的基本原理 1
目录 1
§1.2四端十字形测试结构 6
§1.3薄层电阻测试结构的测试方法 14
§1.4六种薄层电阻测试结构测量结果的比较 16
§1.5薄层电阻测试结构的应用实例 23
§1.6测量体电阻率的平面四探针测试结构 28
§2.1掩模套准误差的分析 36
第二章 掩模套准测试结构 36
§2.2掩模套准测试结构 42
§2.3掩模套准误差测试实例 47
第三章 金属—半导体接触电阻测试结构 56
§3.1接触电阻和接触电阻率 56
§3.2接触电阻测试结构 58
§3.3平面接触和传输线模型 61
§3.4铝—硅和铝—多晶硅接触电阻测量结果一例 69
§3.5单窗口测试结构在工艺控制中的应用实例 74
§4.1用于工艺分析及评价的随机缺陷测试结构 79
第四章 随机缺陷测试结构 79
§4.2硅栅CMOS/SOS工艺的分析和评价 82
§4.3最佳设计规则 90
§4.4类存储器随机缺陷测试结构 94
第五章 MIS结构在半导体工艺检测中的应用 100
§5.1MIS结构表面场效应简述 100
§5.2MIS结构在工艺检测中的应用 104
§5.3MIS结构C-V技术中应注意的几个问题 114
第六章 集成栅控二极管测试结构 122
§6.1栅控二极管 122
§6.2集成栅控二极管测试结构 129
第七章 栅控晶体管和四极晶体管测试结构 138
§7.1栅控晶体管的特性分析 138
§7.2栅控晶体管试验实例 141
§7.3用四极晶体管区分表面复合和体内复合 147
§7.4用四极管测量发射区下基区的薄层电阻及预示器件的可靠性 152
第八章 测试结构参数的自动测量系统 156
§8.1四探针二方位自动测试 156
§8.2探卡与测试图形压点的标准化 158
§8.3测试图形参数自动测量的计算机控制 164
附录 168
- 《电子测量与仪器》人力资源和社会保障部教材办公室组织编写 2009
- 《联吡啶基钌光敏染料的结构与性能的理论研究》李明霞 2019
- 《异质性条件下技术创新最优市场结构研究 以中国高技术产业为例》千慧雄 2019
- 《少儿电子琴入门教程 双色图解版》灌木文化 2019
- 《土壤环境监测前沿分析测试方法研究》中国环境监测总站编著 2018
- 《通信电子电路原理及仿真设计》叶建芳 2019
- 《电子应用技术项目教程 第3版》王彰云 2019
- 《柏里曼人体结构绘画教学描摹本 第2册 头手足结构》杨建飞主编 2019
- 《中国电子政务发展报告 2018-2019 数字中国战略下的政府管理创新》何毅亭主编 2019
- 《认知语言学视野的抽象方位结构研究》曹爽著 2019
- 《人力资源管理》熊苹,何其为编 2012
- 《古玉鉴真 战汉玉器篇》孙为东著 2013
- 《高考文献 上 1949-1976》杨学为编 2003
- 《高考文献 下 1977-1999》杨学为编 2003
- 《动画概论》孙为,许波编著 2014
- 《李季研究资料》赵明,王文金,李小为编 2009
- 《素描人像》孙为国编著 2005
- 《发电厂认识实习》孙为民主编 2009
- 《素描半身像》孙为国编著 2005
- 《李学勤说先秦》李学勤著;宫长为编 2009