工业技术
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功能薄膜及其沉积制备技术
戴达煌,代明江,侯惠君编著2013 年出版516 页ISBN:9787502460266本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际,概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类,及功能薄膜设计的原则;重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功...
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本书较全面地叙述了功能薄膜及其沉积制备技术。结合功能薄膜的特点和工程应用与发展实际,概要地讲述了薄膜的含义、特征和分类,及功能薄膜设计的原则;重点讲述了气相沉积、三束材料表面改性、复合处理等先进功...