微机电系统（MEMS）工艺基础与应用

微机电系统设计与制造

本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。

微机电系统力学

本书以微机电系统为背景，以物理学基本力为基础，重点介绍了微米尺度下的力学环境，力学作用及微尺度效应，并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。...

微机电系统基础 英文版

本书阐述了微机电系统的基础知识，还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。

微机电系统设计与加工

本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...

微计算机控制机电设备集锦 原理与实例

本书通过对步进电机、洗衣机、电梯、车床、铣床等控制实例的分析

微机电系统设计与制造

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...

微传感器、微机电系统和灵巧器件

微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍...

微机电系统（MEMS）原理、设计和分析

本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。...

微机电系统动力学

本书是有关微机电系统（MEMS）动力学的专著，首次全面介绍MEMS动力学的理论基础与应用，展示当今MEMS动力学研究的最新研究进展，系统论述MEMS动力学相关理论和目前引起人们关注的科学问题，基本涵盖了MEMS及MEMS动力学...