微机电系统（MEMS）制造技术

微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...

微机电系统（MEMS）工艺基础与应用

微机电系统（MEMS）原理、设计和分析

本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。...

微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南

在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...

微机电系统（MEMS）设计 建模、仿真与可视化

本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...

微机电系统设计与制造

本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。

微机电系统设计与制造

本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...

微机电系统技术

微机电系统及其相关技术

微机电系统技术基础

本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术，微机电系统的组成、检测及应用技术。内容详实、图文并茂。...