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离子束
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聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪,马向国,李文萍著2006 年出版344 页ISBN:7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构,包括离子源、离子光柱体和控制系统;工作原理;关键技术;装置发展状况和应用实例,内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构,包括离子源、离子光柱体和控制系统;工作原理;关键技术;装置发展状况和应用实例,内容极具科技前沿性及前瞻性。本...