扫描电镜与能谱仪分析技术PDF电子书下载

第一章 基础知识 1

一、分辨率和光的衍射 1

二、电子波和电磁透镜 3

三、电磁透镜的像差 5

四、几种显微镜的比较 7

小结 12

第二章 电子束与样品的相互作用 13

一、散射 13

二、相互作用区 14

三、样品受激发出射的主要信号 15

小结 20

第三章 扫描电镜的工作原理和结构 21

一、常用概念 21

二、扫描电镜的结构 26

三、扫描电镜分类 35

小结 37

第四章 扫描电镜图像衬度和成因 38

一、形貌衬度 38

二、成分衬度 43

小结 46

第五章 扫描电镜图像质量和操作要点 47

一、衬度阈 47

二、分辨率限度 48

三、电子束斑直径与束流的关系 52

四、操作要点 53

小结 58

第六章 扫描电镜几种成像与衍射技术 60

一、低电压成像技术 61

二、低真空成像技术 68

三、环境扫描成像技术 72

四、电子背散射衍射技术 78

小结 82

第七章 扫描电镜的安装和验收 84

一、安装 84

二、验收 85

小结 89

第八章 X射线能谱仪 90

一、X射线的产生和与物质的相互作用 90

二、能谱仪的结构 97

三、工作原理 98

四、能谱仪的分析特点与应用 100

五、能谱仪的安装和验收 101

六、X射线分析限度 104

七、硅漂移探测器 107

小结 109

第九章 X射线能谱仪分析技术 111

一、与采谱有关的几个参数 111

二、电镜加速电压的选择 113

三、X射线吸收程 114

四、定性分析 116

五、定量分析 120

六、颗粒检测技术 129

七、能谱仪的维护和校准 133

八、能谱仪与波谱仪的比较 134

小结 137

第十章 样品制备技术 138

一、取样 138

二、清洁 138

三、安装 139

四、样品截面的制备 141

五、镀膜 143

六、微区成分分析样品制备技术 148

小结 150

参考文献 151