粒子同固体相互作用物理学 下PDF电子书下载

一　轴沟道 149

目录上册第一章　引言第二章　带电粒子在原子为无序分布物质中的运动第三章　离子束分析固态材料的组分和结构第四章　溅射物理第五章　带电粒子在晶体中的沟道效应第六章　沟道效应和阻塞效应的应用下册第七章　离子注入及其应用 621

§7.1　注入离子的射程和射程分布理论 624

一　射程概念和射程的均方偏差 625

二　射程分布的统计理论 630

三　投影射程 641

四　低速重离子在固体中的射程 648

五　注入离子在非晶靶的浓度分布 654

六　单晶靶中的射程分布 678

§7.2　辐射增强扩散效应 689

一　增强扩散的基本概念 689

二　增强扩散的类型 694

三　增强扩散机理 698

四　多元扩散模型 705

五　增强扩散效应的应用 713

§7.3　注入离子在晶格中的位置 719

一　半导体中注入离子的位置 720

二　缺陷的移动和定位 725

§7.4　离子注入层的电学性质 727

一　离子注入机的概念和类型 735

§7.5　离子注入系统 735

二　弱流和中等流强注入机 737

三　强流注入机 740

四　离子注入设备的物理限制 744

五　离子注入机的在线控制 753

§7.6　离子注入器件的应用 759

一　平面扩散工艺和离子注入法 759

二　全离子注入晶体管的电参量控制 766

三　离子注入MOS场效应晶体管 773

四　离子注入制备集成电路中的高值电阻 777

五　离子注入在硅加工中的发展 780

§7.7　离子注入化合物半导体 787

一　离子注入化合物半导体的特点和化学配比 787

二　退火保护问题 792

三　大规模高速集成电路的制备和离子注入化合物半导体（GaAs）器件 797

§7.8　离子注入对金属的改性 800

一　金属中离子注入的特点和物理因素 801

二　离子注入表面的力学性质 804

三　提高金属表面抗腐蚀能力 815

§7.9　离子注入超导体的研究 821

一　超导电性和超导临界温度 822

二　离子注入对超导临界温度Tc的影响 824

三　注入金属氢化物的超导性和超导体中氢的作用 826

§7.10　离子注入合金的穆斯堡尔研究 833

一　内转换电子穆斯堡尔测量 833

二　磨损改善的机理——N+或C+注入铁 835

三　扩散的影响 837

四　磨损前后相的变化——锡注入铁 838

附录　射程计算机程序 841

参考文献 855

§8.1　能量淀积和损伤分布 861

第八章　辐照损伤 861

一　离子注入产生的缺陷 862

二　级联碰撞和原子位移 870

三　能量淀积的WSS理论 876

四　矩方程及其求解 881

五　“高能”离子在固体中能量淀积的“直接法” 897

六　沟道作用和聚焦作用 905

七　损伤及损伤分布 913

§8.2　缺陷的迁移和退火 923

一　缺陷迁移速率和聚集 923

二　热退火 927

三　激光退火 935

四　电子束退火 946

§8.3　金属中的辐射损伤 950

一　辐射缺陷的产生及其相互作用 951

二　金属玻璃辐射损伤的特性 962

一　超精细相互作用 967

§8.4　超精细相互作用和缺陷 967

二　扰动角关联和穆斯堡尔效应 969

三　辐射缺陷的研究 975

四　缺陷-反缺陷反应 981

五　133Xe注入金属形成空位簇 982

§8.5　辐射对有机物质的作用 985

一　聚合物的辐射交联和降解 986

二　辐射交联的机理 990

三　固态有机材料的辐射损伤 995

四 辐照剂量率和温度效应 1000

§8.6 电子自旋共振（ESR）对极低温（4K）下聚合物辐射损伤的研究 1003

一 电子自旋共振和基浓度的测量 1003

二　辐照对基在空间分布的影响 1011

三　氢原子迁移的减弱 1014

四 极低温度（4K）下氢原子的反应率 1014

§8.7　重离子轰击固态生物体产生自由基 1016

一　室温下自由基的产生 1016

二　低温下（77K）自由基的产生 1027

三　“热钉扎”模型及其检验 1028

§8.8　正电子洇灭研究辐照损伤 1033

一　正电子洇灭的物理基础和实验技术 1033

二　捕获模型和金属中的辐照损伤 1045

三 电子辐照钼的损伤及退火效应 1048

四　辐照聚四氟乙烯的正电子寿命谱的分析 1055

附录Ⅰ 三维碰撞级联 1058

附录Ⅱ　矩积分 1059

附录Ⅲ　捕获模型 1061

参考文献 1067

第九章　离子束引起原子混合 1072

§9.1　薄膜系统中离子引起的反应 1072

一　离子感生反应的特点 1073

二　硅化物和金属间化合物 1078

三　热退火引起的相互混合 1080

四　金属固熔体的形成 1083

§9.2　碰撞混合的理论 1089

一　原子位置重排截面 1091

二　基体原子重排及多次重排 1095

三　各向同性的级联混合 1097

四　多次反冲注入 1101

五　含有铂标记层硅中的离子束混合 1103

§9.3　离子束混合机理的实验研究 1109

一　长程混合和短程混合 1109

二　化学效应对混合率的影响 1115

三　原子混合率的温度关联 1118

§9.4　界面反应和原子混合的唯象模型 1119

一　原子的重排和反应 1120

二　扩散控制和反应控制的界面反应 1122

三　扩散混合与碰撞混合的统一描述 1125

§9.5 离子束混合的应用 1128

一　离子束混合在一些物理过程中的作用 1128

二　离子束混合用于材料改性 1128

三　离子束混合微合金 1130

附录Ⅰ 方程（9.2-19）和（9.2-20）的推导 1131

附录Ⅱ　级联混合的随机走动模型 1133

参考文献 1134

第十章　沟道辐射 1137

§10.1　带电轻粒子在晶格沟道中运动的特点 1137

一　横向运动方程 1138

二　相互作用势和束缚态 1143

§10.2　沟道辐射谱学 1149

二　平面沟道 1154

§10.3　实验安排 1162

§10.4　沟道辐射与其他几种辐射的比较 1165

一　相干轫致辐射 1165

二　跃迁辐射 1167

三　同步辐射 1168

§10.5　沟道辐射的应用前景 1168

参考文献 1169