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AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究
刘艳明著2018 年出版120 页ISBN：9787511449795本书介绍了超硬自润滑硼化物薄膜——AlB2-type WB2基超硬薄膜的制备及改性。系统地描述了工艺参数（基体偏压、沉积温度、工作压强、靶功率）及N、C掺杂对AlB2-type WB2基硬质薄膜结构和性能（力学、摩擦热稳定性...
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