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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍，宋晓伟，陶海岩著2018 年出版112 页ISBN：9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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