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光刻
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并行书系 雕光刻影 皮影雕刻巨匠汪天稳 传承传统文化 匠人精神在中国
张欣主编；赵明楠，刘经纬编著2018 年出版369 页ISBN：9787115473707本书主要是对世界非遗项目中国皮影戏的国家级传承人，中国工艺美术大师，著名皮影雕刻艺人汪天稳的人生经历、艺术成就、技艺传承等方面进行系统的梳理与研究。以生动的语言记录了汪天稳艰辛的生活与卓绝的艺术...
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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍，宋晓伟，陶海岩著2018 年出版112 页ISBN：9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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超大规模集成电路先进光刻理论与应用
韦亚一著2016 年出版578 页ISBN：9787030482686光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以继续。本书覆盖现代光刻技术的重要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺。在设备部分，对业界使用...
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