机电系
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射频微机电系统的理论、设计、制备及应用
张海霞，缪雯，方东明著2014 年出版416 页ISBN：9787030389961本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...
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微机电系统和微结构及其在航天中的应用
（美）罗伯特·奥西安德，（美）M.安·加里森·达林著2013 年出版247 页ISBN：9787302334859本书是由十几位知名教授根据他们在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果总结共同完成的专著。其内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考...
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微机电系统（MEMS）制造技术
苑伟政，乔大勇著2014 年出版241 页ISBN：9787030399748微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...
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纳米技术手册 第2册 微纳机电系统和生物微纳机电系统
（美）Bharat Bhushan主编2013 年出版213 页ISBN：9787560339481Bharat Bhushan博士在1971年获得麻省理工大学机械工程学硕士学位；分别于1973年1976年和1980年获得博尔德科罗拉多大学的力学硕士、机械工程学博士和纽约特洛伊伦斯勒理工学院工商管理硕士；在1990年获得挪威特...
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微机电系统设计与制造
刘晓明，朱钟淦编著2006 年出版371 页ISBN：7118041211本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...
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微机电系统（MEMS）设计 建模、仿真与可视化
卢桂章，赵新著2010 年出版278 页ISBN：9787030292209本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
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微机电系统设计与激光
闻邦椿主编；张义民，鄂中凯，陈良玉，孙志礼，宋锦春，柳洪义，汪恺副主编2015 年出版257 页ISBN：9787111491507本套书内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容。具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计...
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微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南
（美）库比著2014 年出版135 页ISBN：9787118096903在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...
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动态微机电系统 理论与应用
何广平，赵明，赵全亮等编著2012 年出版384 页ISBN：9787030343161当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...
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