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机电系
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微机电系统设计与加工
（美）MOHAMEDGAD-EL-HAK编著2010 年出版536 页ISBN：9787111285977本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...
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高速公路机电系统运行与维护手册
段国钦，孙穗，梁华编著2006 年出版470 页ISBN：7114058950本书内容包括：机电系统维护基本知识，收费系统、监护系统、通信系统、办公信息化系统、照明通风系统、供配电系统的运行与维护等。
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微机电系统与微细加工技术
朱荻，云乃彰，汪炜等编2008 年出版227 页ISBN：9787811332384本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍...
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高速公路机电系统新技术及应用
张智勇，朱立伟等编著2008 年出版229 页ISBN：9787114071010本书以高速公路机电系统为对象，重点介绍高速公路监控系统、通信系统、收费系统、照明系统、供配电系统和隧道机电系统等的新技术、新工艺、新产品及其应用。...
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微传感器、微机电系统和灵巧器件
加德纳（Gardner，J.W.），瓦拉旦（Varadan，V.K.），韦德尔卡姆（Wadelkarim，O.A.）著2004 年出版505 页ISBN：7302081220微传感器、微机电系统（MEMS，micro-electro-mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍...